真空区域的划分

粗真空；1013—13mbar(a),760—10Torr(a)
中真空；1333~1.33×10-1 Pa(a), 10~10-3 Torr(a)
高真空；1.33×10-1~10-6 Pa(a), 10-3~10-8 Torr(a)
超高真空；10-6~10-10 Pa(a), 10-8~10-12Torr(a)
极高真空；＜10-10 Pa(a), ＜10-12Torr(a)